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橫川機(jī)器人(深圳)有限公司

3C行業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)新能源行業(yè)醫(yī)療器械行業(yè)激光行業(yè)面版行業(yè)

晶圓劃片機(jī)

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應(yīng)用設(shè)備:劃片機(jī)

采用激光、刀片等方式對(duì)陶瓷、硅片等進(jìn)行高精度切割的裝置,是半導(dǎo)體封測(cè)中的關(guān)鍵設(shè)備。 

工況要求:配合側(cè)腐蝕工藝、垂直結(jié)構(gòu)工藝的劃片和切割,切割運(yùn)動(dòng)要求平穩(wěn)、振動(dòng)小、速度高,負(fù)載安裝面精度2μm

 

橫川DD馬達(dá)在劃片機(jī)實(shí)現(xiàn)的功能:糾偏、走工位

用DD馬達(dá)配合CCD進(jìn)行糾偏及90度工位調(diào)整,負(fù)載安裝面機(jī)械精度達(dá)到 2μm,能夠很好滿(mǎn)足該設(shè)備高精度、恒定速度的要求

 

橫川DD馬達(dá)應(yīng)用代表型號(hào)

DMFI224-030FE

連續(xù)扭矩:20 N·m

峰值扭矩:30 N·m

絕對(duì)精度:±26/±10 arc-sec

重復(fù)定位精度:±1 arc-sec